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真空熱處理是真空技術和熱處理相結合的綜合技術，是指熱處理過程的全部和部分都是在真空狀態下進行的。我國的真空分為低真空、中真空、高真空和超高真空。

在熱處理領域，真空爐和中頻電爐具有良好的發展前景。用于透熱、軋制、鍛造、彎曲、熱處理(淬火)、感應加熱等焊接過程。那真空爐和中頻電爐的熱處理工藝是什么？
在真空爐中處理鈦合金時，由于鈦和氮在高溫下反應產生鈦氮化物，不能使用氮氣作為冷卻氣體。
真空爐的活動連接部分全部用O形圈密封，并用水冷卻。

工件真空淬火時，應使用飽和蒸汽壓低的真空淬火油。

真空爐的維修應處于真空或純氮充氣狀態，避免空氣吸收和吸濕不用時。

國內真空爐升壓率不超過1.33pa//h，國外一些企業的升壓率為0.67pa/h

真空加熱主要是輻射加熱，爐內工件之間應保持一定的距離。

在加熱過程中，工件和爐料會被放氣以降低真空度。

真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理相同。

真空回火爐應該配備快速冷卻裝置。冷卻水壓力大于0.2MPa，流量可調。

冷卻氣體：一般鋼材采用99.995%純氮，高溫合金采用99.999%氮或氬，鈦合金采用99.995%氬。

加熱：工件放入后，經預抽至6.67pa方可加熱。